磁控溅射仪
台式纳米颗粒沉积系统(纳米团簇)
纳米颗粒和薄膜UHV沉积系统
纳米颗粒和薄膜的模块化PVD系统
超高真空磁控溅射系统
狭缝挤出型涂布机
等离子体增强原子层沉积系
等离子体增强化学气相沉积
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