派瑞林真空镀膜机
聚对二甲苯镀膜系统(Parylene Coating System)
派瑞林真空镀膜机
聚对二甲苯镀膜系统(Parylene Coating System)
蒸发器 最高 200°C(最多 10 级)
高温分解 最高 800°C(3 分区加热器)
腔室 内径 200 x 长度 420(mm)
操作 手动和自动
尺寸 宽1600 x 深800 x 高1300(毫米)
蒸发器
单块铝(非焊接,泄漏最小化)
加热器 : 最高 200 °C
用于隔热的门加热器:最高 200 °C
汽化温度设置:最多 10 步(温度和时间)
裂解器
管材:石英(或铬镍铁合金作为替代品)
火焰炉加热器 : 最高 800°C
3 x 分区(独立)加热器
温度传感器:2线K型传感器x 3ea(每个加热器的每个传感器)
沉积室
单块铝(非焊接,泄漏最小化)
均匀气流设计(专利第10-1701381号)
腔室尺寸 : 内径 200 mm × L. 420 mm
样品装载板
旋转器
冷阱
疏水阀方式:直接疏水阀、玻璃冷凝器
最低温度 : – 80°C
环境温度 : 5 ~ 30°C
真空
泵:油旋转泵
泵排量:1,000 升/分钟 @ 60Hz
极限压力: 5×10-3 托
控制器
DSP 板载信号控制器
自动/手动操作
交互式集成软件
10.2“ 触摸屏 PC 和 USB 数据传输
保存和加载工艺配方
实时过程图和错误监控
系统尺寸
主机系统 : 1600×800×1300 (宽×深×高, 毫米)
冷阱 : 505×620×750 (宽×深×高, 毫米)
真空泵 : 283×736×360 (宽×深×高, 毫米)
* 尺寸可能根据客户的要求和完美体育·(中国)手机网页版升级而有所不同
联系人:张垚
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电话:021-56035615
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